下载一种晶圆对位方法、装置和计算机设备和存储介质的技术资料

文档序号:40198922

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本申请涉及一种晶圆对位方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括:对目标晶圆图像进行特征提取,基于目标晶圆图像的特征,进行待处理区域的选取;对目标晶圆图像中的待处理区域进行边缘提取,得到边缘图像;基于边缘图像信息进行直线拟合操作,得到目...
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