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文档序号:40197643

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能够面朝下安装的芯片尺寸封装型的半导体装置(1)具备:半导体衬底(32);形成在半导体衬底(32)上的半导体层(40);形成于半导体层(40)的纵向场效应晶体管(10);球形的凸点电极,形成在半导体层(40)的表面侧,高度为100μm以上;...
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