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一种高压Micro LED芯片及其制备方法技术
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文档序号:40197413
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本发明公开了一种高压Micro LED芯片及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,该制备方法包括:提供一衬底;在衬底之上分别制作激光剥离层与支撑层;在支撑层之上制作外延层;对外延层进行刻蚀,暴露出支撑层的表面,得到外延隔离槽,以将外延PN结隔...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。
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