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本发明公开了一种带气氛保护的准分子激光烧蚀装置，包括：准分子激光器，准分子激光器前端连接衰减匀光单元，衰减匀光单元能将准分子激光器发射的激光射线进行能量调整和均匀化处理，处理后的激光射线通过图案可选的可调光阑获取所需图案后，通过反光镜进入精...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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