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本发明提供了一种摆片的蚀刻方法及蚀刻控制系统，该蚀刻方法先通过摆片蚀刻预试验，统计中心摆的剩余重量与剩余蚀刻时间的关系曲线；将装配蚀刻掩膜的批量石英片按照预定蚀刻时间完成第一次蚀刻；测量批量石英片中心摆的剩余重量，按剩余重量区间将石英片分组...
该专利属于航天科工惯性技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过航天科工惯性技术有限公司授权不得商用。

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