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晶片的外观检查装置10具备控制部12，控制部12生成包括将晶片面沿圆周方向分为多个区域进行拍摄的部分图像41～45的晶片面的多个整体图像40，基于多个整体图像40来生成平均图像50，基于平均图像50来检测晶片面的异常。...
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