下载一种便于焊接的倒装键合结构及其制备方法的技术资料

文档序号:40191402

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本发明涉及半导体封装技术领域,尤其涉及一种便于焊接的倒装键合结构及其制备方法,该倒装键合结构包括基板部分和芯片部分,基板部分包括基板金属层、基板焊盘和基板阻焊层,芯片部分包括晶圆、焊盘、钝化层、介电层、金属凸点结构,金属凸点结构包括凸点柱、...
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