下载一种半导体加热盘的技术资料

文档序号:40191346

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本技术公开了一种半导体加热盘,加热盘设置在外壳的内部,底板设置在外壳的底部,底板的上侧固设有多根均匀分布的支撑杆,加热盘的底部设置有陶瓷板,且陶瓷板的上侧与加热盘的下侧贴合,陶瓷板的下侧设置有与支撑杆对应的安装槽,安装槽内设置有限位组件,限...
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