下载一种纵向齿和硅片承载器的技术资料

文档序号:40190730

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本技术涉及硅片承载工具技术领域,提供一种纵向齿和硅片承载器。本技术的纵向齿包括连接组件和纵向齿本体;连接组件与硅片承载器的立面连接;纵向齿本体的端部与连接组件连接,纵向齿本体具有支撑面,支撑面上限定有用于放置硅片的第一水平放置面,第一水平放...
该专利属于北京市塑料研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京市塑料研究所有限公司授权不得商用。

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