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一种具有L型衬底辅助栅的LDMOS器件制造技术
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文档序号:40190662
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本发明涉及一种具有L型衬底辅助栅的LDMOS器件,属于半导体器件领域。该LDMOS器件主要包括衬底,埋氧层,以及在埋氧层表面形成的栅极控制区和LDMOS导电区。其中栅极控制区包括一L型辅助栅P+区、二氧化硅隔离层和传统栅极区;LDMOS导电...
该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。
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