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一种集成自偏置NMOS快速关断的RC-LIGBT器件制造技术
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下载一种集成自偏置NMOS快速关断的RC-LIGBT器件的技术资料
文档序号:40190660
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本发明涉及一种集成自偏置NMOS快速关断的RC‑LIGBT器件,属于半导体器件领域。该器件主要包括沟槽栅区域、自偏置NMOS区域、P型埋层区域和LIGBT区域。其中沟槽栅区域包括栅极和栅二氧化硅层;P型埋层区域分布在LIGNT区域中;自偏置...
该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。
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