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集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法技术
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文档序号:40188859
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本发明属于稀土永磁材料技术领域,具体为集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法。本发明方法是把稀土永磁合金铸锭或铸片的氢破碎过程和原子层沉积包覆镀层的过程集成在相同的反应腔内进行;首先将稀土永磁合金铸锭或铸片放置在真空反应腔中,利...
该专利属于复旦大学义乌研究院所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学义乌研究院授权不得商用。
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