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本申请实施例提供了一种清洗装置和晶圆清洗方法。该清洗装置包括伯努利卡盘、第一保护气体喷嘴、多个保护液喷嘴和清洗药液喷嘴。伯努利卡盘包括固定件，固定件用于固定晶圆的边缘。第一保护气体喷嘴和多个保护液喷嘴都位于晶圆的下方，第一保护气体喷嘴朝向晶...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。

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