下载用于产生接触金属化部的沉积站以及设备的技术资料

文档序号:40184212

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本技术涉及一种沉积站,所述沉积站包括盆装置(11),所述盆装置具有构成工艺腔(12)的盆(13),用于容纳由溶解在液体中的金属,尤其镍、锌、钯、金等构成的溶液,用于优选无电流地沉积在能够容纳到工艺腔中的物体上,尤其沉积在能够容纳到工艺腔中的...
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