下载基于双模型表征的非球面参数拟合及面形偏差测量方法的技术资料

文档序号:40183802

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本发明公开了一种基于双模型表征的非球面参数拟合及面形偏差测量方法,包括1)采集非球面光学元件表面的若干点,处理获得各个采样点的三维数据;2)建立初始光路模型并设置其波前评价函数;3)依次输入非球面元件的设计参数;4)由测得的XOY平面的坐标...
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