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单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉制造技术
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文档序号:4018104
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本发明公开一种用于单晶炉的热屏及使用其的单晶炉,所述热屏包括定位部,所述定位部用于与炉体连接,且所述定位部形成有上部开口端;和锥台部,所述锥台部上端与定位部相连接且下端形成有下部开口端,其中,所述锥台部由基体和位于基体内表面上的内层构成,形...
该专利属于万关良所有,仅供学习研究参考,未经过万关良授权不得商用。
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