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振动产生装置及拾取系统制造方法及图纸
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下载振动产生装置及拾取系统的技术资料
文档序号:40178885
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本发明提供振动产生装置及拾取系统,能够对于各种方向的振动发挥优异的衰减力。振动产生装置具有:基座;振动部,具有槽,所述槽具备供工件载置的载置面;弹簧部,连结所述基座与所述振动部;振动产生部,在使所述弹簧部弹性变形的同时使所述振动部进行振动;...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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