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文档序号:40178508
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本发明提供离子源,提高离子束的引出效率。一种离子源(1A),具备:等离子体生成容器(10A),具有生成等离子体的内部空间(IS);电子发射部件(30),配置在内部空间(IS),具有发射电子的电子发射部(31);以及磁场形成单元(20A),在...
该专利属于日新离子机器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日新离子机器株式会社授权不得商用。
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