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本技术公开了一种用于多晶硅生产过程中的氯化氢干燥系统，包括一级干燥塔、二级干燥塔和冷却器；所述一级干燥塔的塔釜连接有第一进料管和第二进料管，将含水HCl和四氯化硅一同送入一级干燥塔进行脱水反应；所述一级干燥塔通过塔顶的一级塔气相采出管连接至...
该专利属于内蒙古鑫元硅材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古鑫元硅材料科技有限公司授权不得商用。

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