下载一种力度可调的硅片夹持机构的技术资料

文档序号:40173357

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本技术涉及夹持机构技术领域,具体为一种力度可调的硅片夹持机构,包括底座和基板,所述基板上设有驱动箱和箱体,且基板设于底座上,还包括:夹持部,所述夹持部包括第一夹板和第二夹板,用于将硅片夹住,且箱体内设有用于驱动夹持部转动的翻转部。本技术通过...
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