下载太阳电池的扩散方法及太阳电池的技术资料

文档序号:40170978

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本申请提供一种太阳电池的扩散方法及太阳电池,太阳电池的扩散方法包括:在第一设定温度下,对位于反应腔室内的基体进行持续第一设定时间的氧化处理。其中,第一设定时间的范围为小于300s。从第一设定温度升温至第二设定温度,并向反应腔室内通入氧气和扩...
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