温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于极高真空领域，具体地说是一种复合离子泵的新结构，包括离子泵、法兰接管焊件、转接筒、连接端子、引线、绝缘陶瓷管、连接柱及NEG泵芯，法兰接管焊件包含法兰、接管和2芯NEG电极插头；离子泵采用SKY20L泵，将泵口更换为法兰接管焊件；...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。