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本技术提供了一种高度校准校具及高度校准系统，涉及半导体技术领域，本技术提供的高度校准校具包括滑动部以及用于与吸嘴组件连接的外壳；外壳具有进气孔和第一出气口，第一出气口用于与真空发生器连通；滑动部的一端滑动配合于外壳内，另一端伸出外壳，滑动部...
该专利属于杭州长川科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州长川科技股份有限公司授权不得商用。

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