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本申请涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种固定组件、载料装置以及探针台。一种固定组件，包括固定单元，固定单元包括活动板、同步压块以及调节定位件。同步压块能够带动活动板平行于第一方向滑动于卡塞的底部，而调节定位件能够跟随活动板运动。调节定位件包...
该专利属于深圳市深科达智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市深科达智能装备股份有限公司授权不得商用。

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