【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆测试，尤其涉及一种固定组件、载料装置以及探针台。
技术介绍
1、wat(wafer acceptance test，晶圆允收测试)是指晶圆生产后，出晶圆厂前要进行的电性测试(出货前需要经过一套完整的电学特性测试流程)。通过wat数据，可以监控到晶圆制造工序是否异常，产品是否符合该工艺技术平台的电性规格要求。测试过程通常先将多片晶圆放在卡塞(wafer cassette)内，然后从卡塞中取出晶圆放在晶圆卡盘上进行测试。测试结束后再将测试好的晶圆取走，再放置下一片晶圆重复进行测试。卡塞用来盛放晶圆，为了避免晶圆从卡塞内掉下来，需要对卡塞进行固定。而为了提高通用性，需要能够对不同尺寸的卡塞进行固定。相关技术手段中，通常采用人工移动定位块，使得定位块与卡塞的外侧抵接的方式，从而实现对不同尺寸的卡塞进行固定。固定需要用手伸入机台，操作不便，卡塞的固定效率低下。
技术实现思路
1、有鉴于此，有申请提供一种固定组件、载料装置以及探针台，能够改善针对不同尺寸的卡塞固定不便的问题。
2、第一方面，本申请的实施例提供一种固定组件，用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定所述卡塞的位置，所述固定组件包括固定单元，所述固定单元包括活动板、同步压块以及调节定位件。所述活动板平行于第一方向可滑动地设置于所述卡塞的底部。所述同步压块设置于所述活动板远离所述卡塞的侧面，所述同步压块用于带动所述活动板运动。所述调节定位件设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面，所述调节定位件包括挡销，以使得所述同步压块带
3、上述实施例中，固定组件用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定卡塞的位置，相比于采用人工移动定位块，使得定位块与卡塞的外侧抵接的方式，固定组件能够根据卡塞的尺寸不同，从卡塞底部的内侧壁对卡塞进行固定，从而适应不用尺寸的卡塞，且固定方式简单方便。在一个固定单元中，同步压块设置于活动板远离卡塞的侧面，调节定位件设置于活动板靠近卡塞的侧面，同步压块能够带动活动板平行于第一方向滑动于卡塞的底部，而调节定位件能够跟随活动板运动。调节定位件包括挡销，当同步压块带动活动板朝向卡塞底部的内侧壁运动时，挡销能够平行于第一方向抵持于卡塞底部的侧壁，从而实现卡塞的单侧定位。当卡塞的另一侧通过设置位置固定的阻挡部件以抵持于卡塞底部的另一内侧壁，即能够实现卡塞的自动固定。当固定组件包括多个固定单元，多个固定单元能够从不同方向分别抵持于卡塞底部的各个内侧壁，从而实现卡塞的自动固定。其中，同步压块能够通过电机或者气缸作为驱动件，使用传动结构连接至同步压块，带动挡销实现卡塞的自动固定，从而不需要通过手动调节定位块从卡塞的外部抵紧卡塞，以改善针对不同尺寸的卡塞固定不便的问题。
4、在一些实施例中，所述固定组件包括至少两组固定单元，每组所述固定单元被配置为能够相互背离地运动以分别抵持所述卡塞底部的内侧壁。
5、上述实施例中，固定组件包括至少两组固定单元，且每组固定单元能够相互背离地运动，从而分别抵持于卡塞底部的内侧壁。相比于单组固定单元对于卡塞底部的内侧壁进行压紧，当卡塞的尺寸更换之后，在运动速率相同的情况下，多个固定单元分别相互背离地运动，能够缩短每个固定单元运动的行程，从而缩短固定单元的运动时间，以缩短对于卡塞定位的时间，提高卡塞的定位效率。
6、在一些实施例中，所述调节定位件至少设置有两个，至少两个所述调节定位件平行于第二方向依次设置，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，至少两个所述调节定位件中的所述挡销能够平行于所述第一方向共同抵持所述卡塞底部的内侧壁，所述第二方向垂直于所述第一方向。
7、上述实施例中，每个固定单元中，调节定位件至少设置有两个，从而调节定位件在抵持卡塞底部的内侧壁时，同步压块带动活动板运动，活动板共同带动多个调节定位件运动，多个调节定位件中的挡销能够平行于第一方向共同抵持卡塞底部的内侧壁，以使得卡塞的单侧具有至少两个定位点，从而提高卡塞的定位稳定性。
8、在一些实施例中，所述调节定位件还包括调节块，所述调节块可拆卸地设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面；所述调节块设置有第一调节孔，所述挡销固定于所述调节块的所述第一调节孔。
9、上述实施例中，第一连接件穿过调节块的第一调节孔并连接于挡销，以使得挡销和调节块固定连接。并且，调节块可拆卸地设置于活动板靠近卡塞的侧面，一方面，调节块能够对挡销进行垫高，从而缩短挡销的长度，进而提高挡销的抗弯曲强度，以提高挡销对于卡塞的压紧稳定性。另一方面，挡销和调节块可拆卸连接，当挡销的外周面磨损或者需要更换另外形式的挡销时，能够方便地将挡销从调节块上拆卸，从而提高挡销的维护便利性。
10、在一些实施例中，所述调节定位件还包括第一连接件，所述活动板设置有第一安装孔，所述调节块还设置有第二调节孔，所述第二调节孔被配置为平行于所述第一方向延伸，以使得所述第一连接件能够穿过所述第二调节孔连接于所述第一安装孔，以调整所述调节块的位置。
11、上述实施例中，第一连接件穿过调节块的第二调节孔连接于活动板的第一安装孔，由于第二调节孔被配置为平行于第一方向延伸，从而使得调节块在活动板上具有活动范围，调节块能够平行于第一方向根据需要进行移动，从而调整调节块相对于活动板的位置，进而调整挡销与活动板的相对位置。在多个调节定位件分别抵持卡塞底部的内侧壁时，多个调节定位件中的挡销能够调整位置，以使得多个调节定位件中的挡销平行于第一方向共同抵持卡塞底部的内侧壁，从而提高挡销的调节便利性。
12、在一些实施例中，所述活动板靠近所述卡塞的侧面设置有多条导向棱，多条所述导向棱沿着第二方向依次间隔设置，多条所述导向棱的延伸方向均平行于所述第一方向，所述调节块的两侧边抵持于相邻的两条所述导向棱之间，以使得所述调节块沿所述导向棱的延伸方向与所述活动板可滑移地配合。
13、上述实施例中，调节块的侧边抵持于导向棱，以使得调节块在平行于第一方向调整位置的过程中，调节块能够沿着导向棱的延伸方向运动，从而使得导向棱作为调节块的导向基础，改善调节块在调整位置的过程中，调节块的移动方向与第一方向存在角度差异，而使得挡销出现位置不准确的问题。
14、在一些实施例中，所述活动板还设置有第二安装孔，所述同步压块设置有压块安装孔；所述固定单元还包括第二连接件，所述第二连接件被配置为穿过所述压块安装孔连接于所述第二安装孔，以使得所述同步压块固定于所述活动板。
15、上述实施例中，第二连接件穿过同步压块的压块安装孔连接于活动板的第二安装孔，从而使得同步压块能够固定于活动板远离卡塞的底面，从而便于同步压块与相关的驱动部件连接，提高空间利用率。
16、在一些实施例中，所述固定单元还包括同步滑块和第三连接件，所述同步滑块固定于所述活动板朝向所述卡塞的侧面，所述同步滑块被配置为可滑动地连接于所述卡塞底部的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种固定组件，用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定所述卡塞的位置，其特征在于，所述固定组件包括固定单元，所述固定单元包括：
2.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述固定组件包括至少两组固定单元，每组所述固定单元被配置为能够相互背离地运动以分别抵持所述卡塞底部的内侧壁。
3.如权利要求2所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件至少设置有两个，至少两个所述调节定位件平行于第二方向依次设置，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，至少两个所述调节定位件中的所述挡销能够平行于所述第一方向共同抵持所述卡塞底部的内侧壁，所述第二方向垂直于所述第一方向。
4.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件还包括调节块，所述调节块可拆卸地设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面；所述调节块设置有第一调节孔，所述挡销固定于所述调节块的所述第一调节孔。
5.如权利要求4所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件还包括第一连接件，所述活动板设置有第一安装孔，所述调节块还设置有第二调节孔，所述第二调节孔被配置为平行于所述第
6.如权利要求5所述的固定组件，其特征在于，所述活动板靠近所述卡塞的侧面设置有多条导向棱，多条所述导向棱沿着第二方向依次间隔设置，多条所述导向棱的延伸方向均平行于所述第一方向，所述调节块的两侧边抵持于相邻的两条所述导向棱之间，以使得所述调节块沿所述导向棱的延伸方向与所述活动板可滑移地配合。
7.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述活动板还设置有第二安装孔，所述同步压块设置有压块安装孔；所述固定单元还包括第二连接件，所述第二连接件被配置为穿过所述压块安装孔连接于所述第二安装孔，以使得所述同步压块固定于所述活动板。
8.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述固定单元还包括同步滑块和第三连接件，所述同步滑块固定于所述活动板朝向所述卡塞的侧面，所述同步滑块被配置为可滑动地连接于所述卡塞底部的滑轨，以使得所述同步滑块能够带动所述活动板平行于所述第一方向滑移；所述活动板还设置有第三安装孔，所述同步滑块设置有滑块安装孔，所述第三连接件被配置为穿过所述滑块安装孔连接于所述第三安装孔，以使得所述同步滑块固定于所述活动板。
9.一种载料装置，其特征在于，包括：
10.一种探针台，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种固定组件，用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定所述卡塞的位置，其特征在于，所述固定组件包括固定单元，所述固定单元包括：
2.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述固定组件包括至少两组固定单元，每组所述固定单元被配置为能够相互背离地运动以分别抵持所述卡塞底部的内侧壁。
3.如权利要求2所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件至少设置有两个，至少两个所述调节定位件平行于第二方向依次设置，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，至少两个所述调节定位件中的所述挡销能够平行于所述第一方向共同抵持所述卡塞底部的内侧壁，所述第二方向垂直于所述第一方向。
4.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件还包括调节块，所述调节块可拆卸地设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面；所述调节块设置有第一调节孔，所述挡销固定于所述调节块的所述第一调节孔。
5.如权利要求4所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件还包括第一连接件，所述活动板设置有第一安装孔，所述调节块还设置有第二调节孔，所述第二调节孔被配置为平行于所述第一方向延伸，以使得所述第一连接件能够穿过所述第二调节孔连接于所述第一安装孔，以调整所述调...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩宁宁，谢永钦，
申请(专利权)人：深圳市深科达智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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