本申请涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种固定组件、载料装置以及探针台。一种固定组件，包括固定单元，固定单元包括活动板、同步压块以及调节定位件。同步压块能够带动活动板平行于第一方向滑动于卡塞的底部，而调节定位件能够跟随活动板运动。调节定位件包括挡销，当同步压块带动活动板朝向卡塞底部的内侧壁运动时，挡销能够平行于第一方向抵持于卡塞底部的侧壁，从而实现卡塞的单侧定位。当卡塞的另一侧通过设置位置固定的阻挡部件以抵持于卡塞底部的另一内侧壁，即能够实现卡塞的自动固定。当固定组件包括多个固定单元，多个固定单元能够从不同方向分别抵持于卡塞底部的各个内侧壁，从而实现卡塞的自动固定。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆测试，尤其涉及一种固定组件、载料装置以及探针台。
技术介绍
1、wat(wafer acceptance test，晶圆允收测试)是指晶圆生产后，出晶圆厂前要进行的电性测试(出货前需要经过一套完整的电学特性测试流程)。通过wat数据，可以监控到晶圆制造工序是否异常，产品是否符合该工艺技术平台的电性规格要求。测试过程通常先将多片晶圆放在卡塞(wafer cassette)内，然后从卡塞中取出晶圆放在晶圆卡盘上进行测试。测试结束后再将测试好的晶圆取走，再放置下一片晶圆重复进行测试。卡塞用来盛放晶圆，为了避免晶圆从卡塞内掉下来，需要对卡塞进行固定。而为了提高通用性，需要能够对不同尺寸的卡塞进行固定。相关技术手段中，通常采用人工移动定位块，使得定位块与卡塞的外侧抵接的方式，从而实现对不同尺寸的卡塞进行固定。固定需要用手伸入机台，操作不便，卡塞的固定效率低下。
技术实现思路
1、有鉴于此，有申请提供一种固定组件、载料装置以及探针台，能够改善针对不同尺寸的卡塞固定不便的问题。
>2、第一方面，本申本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种固定组件，用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定所述卡塞的位置，其特征在于，所述固定组件包括固定单元，所述固定单元包括：
2.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述固定组件包括至少两组固定单元，每组所述固定单元被配置为能够相互背离地运动以分别抵持所述卡塞底部的内侧壁。
3.如权利要求2所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件至少设置有两个，至少两个所述调节定位件平行于第二方向依次设置，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，至少两个所述调节定位件中的所述挡销能够平行于所述第一方向共同抵持所述卡塞底部的内侧壁，所述第二方向垂直于所述第...
【技术特征摘要】
1.一种固定组件，用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定所述卡塞的位置，其特征在于，所述固定组件包括固定单元，所述固定单元包括：
2.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述固定组件包括至少两组固定单元，每组所述固定单元被配置为能够相互背离地运动以分别抵持所述卡塞底部的内侧壁。
3.如权利要求2所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件至少设置有两个，至少两个所述调节定位件平行于第二方向依次设置，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，至少两个所述调节定位件中的所述挡销能够平行于所述第一方向共同抵持所述卡塞底部的内侧壁，所述第二方向垂直于所述第一方向。
4.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件还包括调节块，所述调节块可拆卸地设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面；所述调节块设置有第一调节孔，所述挡销固定于所述调节块的所述第一调节孔。
5.如权利要求4所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件还包括第一连接件，所述活动板设置有第一安装孔，所述调节块还设置有第二调节孔，所述第二调节孔被配置为平行于所述第一方向延伸，以使得所述第一连接件能够穿过所述第二调节孔连接于所述第一安装孔，以调整所述调...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩宁宁，谢永钦，
申请(专利权)人：深圳市深科达智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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