下载一种半导体器件及半导体器件的制作方法的技术资料

文档序号:40167312

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本发明实施例公开一种半导体器件及半导体器件的制作方法。该半导体器件,包括:衬底;设置于所述衬底一侧的缓冲层;设置于所述缓冲层远离所述衬底一侧的沟道层;设置于所述沟道层远离所述衬底一侧的势垒层;设置于所述势垒层远离所述衬底一侧的阻挡层;设置于...
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