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本发明公开了一种抛光模组、抛光单元、抛光系统和抛光方法，所述抛光模组包括抛光盘，所述抛光盘侧方配置至少两个装卸机构，抛光盘上方配置有抛光机构；所述抛光机构配置至少两个承载头，其能够在抛光盘与装卸机构之间移动，以传输晶圆；还包括供液臂，其数量...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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