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本发明提供一种监控光刻机卡盘间套刻差异的方法，提取晶圆平台对位时不同光源、不同阶次、不同方向的SBO数据；通过FDC后台数据处理，计算晶圆每个批次对应卡盘、所有晶圆的SBO数据的标准差；建立FDC虚拟参数，将晶圆的每个批次的SBO数据的标准...
该专利属于华虹半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华虹半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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