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本技术涉及半导体技术领域，提供了一种晶圆传送盒底座清洁装置，晶圆传送盒底座清洁装置包括：清洁基站、清洁组件以及轨道；所述清洁基站上设置有清洁室和转运口，所述清洁室通过所述转运口与外界连通；所述转运口包括设置于所述清洁基站上的进口和出口，所述...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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