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一种硅片swirl、striation和杂质管道缺陷的通用检测方法，包括以下步骤：步骤1：将硅片的测试样片放入碱腐蚀液中进行碱洗；步骤2：将碱洗后的测试样片放入酸腐蚀液中进行酸洗；步骤3：对酸洗后的测试样片进行高温热处理；步骤4：根据硅片的...
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