下载IC引线框架光刻机双光源控制机构的技术资料

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本技术公开了一种IC引线框架光刻机双光源控制机构,包括机体、上平行光源反射镜、下平行光源反射镜,所述机体上部通过隔板分隔有操控区,所述机体下部通过隔板分隔有扫描区,所述上平行光源反射镜设于机体上且位于操控区左侧,所述上平行光源反射镜底部设有...
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