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本技术公开了一种用于F0区的夹持运动机构，包括防护箱、夹持组件和驱动机构，防护箱用于盛装去离子水；夹持组件包括连接臂和柔性夹持头，连接臂一端置于防护箱外、并连接于柔性夹持头，连接臂另一端伸置于防护箱中；驱动机构包括防爆动力组件和传动组件，防...
该专利属于昆山佰奥智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山佰奥智能装备股份有限公司授权不得商用。

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