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本申请提供一种硅片异物确认装置，涉及半导体技术领域。所述硅片异物确认装置包括持握主体、夹持部及异物确认部，所述夹持部的一端与所述持握主体可拆卸固定连接，所述夹持部远离所述持握主体的一端夹持所述异物确认部，所述异物确认部包括与所述夹持部夹持固...
该专利属于吉林麦吉柯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林麦吉柯半导体有限公司授权不得商用。

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