下载一种谐振式压力传感器结构的技术资料

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本技术涉及一种谐振式压力传感器结构,包括上盖和底座,所述的底座上端安装有核心模块和上盖,该上盖罩住核心模块,所述的核心模块包括芯片模块,该芯片模块包括压力杆、芯片以及两个电极柱,所述的底座上端设有芯片下部夹具,该底座上位于芯片下部夹具的两侧...
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