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本申请涉及一种锁止机构及研磨机，锁止机构包括第一基座与第二基座，其中：第一基座设置有卡接件；第二基座转动设置于第一基座，用于研磨臂的安装，第二基座设有卡接槽，在第二基座的转动过程中，卡接件可伸入或退出卡接槽。本申请提供的锁止机构，当需对研磨...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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