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一种光学邻近修正方法，包括：获取第一修正图形；根据第一修正图形获取第一曝光图形，包括第一曝光边和第二曝光边；提供目标图形，包括第一目标边和第二目标边；获取第一曝光边与第一目标边之间的第一边缘放置误差、第二曝光边与第二目标边之间的第二边缘放置...
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