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本发明公开了一种超真空环境作业的边缘夹持式晶圆取放机械手臂，涉及晶圆搬运领域。现提出如下方案，其包括底座，所述底座的输出端转动连接有手臂，所述手臂的输出端转动连接有拿取机构，所述拿取机构包括：连接座，转动连接在手臂上；指臂，固定在连接座上；...
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