下载一种掩膜版及其制作方法的技术资料

文档序号:40148348

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本发明公开了一种掩膜版及其制作方法。其中,制作方法包括在基底上制备第一无机材料层并进行刻蚀,形成包括多个第一图形的第一图形层,在第一图形层上制备金属层并进行刻蚀,形成包括多个金属图形的金属图形层,且各金属图形位于相邻两个第一图形之间。在金属...
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