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本申请提供一种环形暗场光纤装置，涉及晶圆检测技术领域。所述环形暗场光纤装置包括环形光罩以及沿所述环形光罩的内壁圆周排布的环形光纤头阵列，所述环形光纤头阵列中的两个环形光纤头之间具有预定光纤头间隔角度，且所述环形光纤头阵列由连接线缆引出，所述...
该专利属于魅杰光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过魅杰光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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