下载光束扫描系统及其扫描方法的技术资料

文档序号:40147643

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本发明提供了一种光束扫描系统及其扫描方法,涉及激光多光束扫描设备的技术领域,包括可动镜框、驱动机构、限位机构和压紧机构;限位机构设置有限位路径,压紧机构能够将可动镜框限制于限位路径内呈固定状态;其中,压紧机构与可动镜框无相对运动,压紧机构能...
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