温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明为一种电浆制程系统的基板夹持拉撑机构，其设于真空电浆制程腔体内，本发明包括加工平台、夹持装置及拉撑装置。加工平台用以承放待制程基板，加工平台边缘设有水平位移区；夹持装置设于水平位移区，夹持装置具有相互枢接的上夹持件及下夹持件，下夹持件...
该专利属于友威科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友威科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。