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本发明涉及一种可以用于形成多种含铪薄膜的含铪前驱体，所述含铪前驱体在常温下为液体且呈现出较高的挥发性以及较高的热学稳定性，因此可以在高品质的含铪薄膜及其制造方法中使用。...
该专利属于株式会社智慧化工所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社智慧化工授权不得商用。

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