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本技术提供了一种带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，包括：设置多个控温区的烘干区和烧结区及风冷区，硅片经由传动装置依次通过烘干区、烧结区及风冷区，每个控温区均包括上控温区和下控温区，每个上控温区和下控温区内对应地设置有至少三个电偶实时...
该专利属于中科研和（宁波）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科研和（宁波）科技有限公司授权不得商用。

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