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本文描述了用于确定抛光垫厚度轮廓的方法和装置。利用包括臂位移传感器和一个或多个调节盘位移传感器的一组位移传感器来确定调节盘的取向和抛光垫的厚度。所述位移传感器是非接触式传感器，诸如激光传感器、电容传感器、或电感传感器。一旦确定抛光垫的厚度分...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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