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本申请提供了晶圆传输装置的通信方法及电路控制模块，属于晶圆设备制造技术领域。晶圆传输装置的通信方法包括电路控制模块可接收主机台传输的动作信号并执行相应动作；每个动作信号包括预设有安全动作指令的默认信号段和调节信号段；主机台可通过设置调节信号...
该专利属于浙江大族富创得科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大族富创得科技有限公司授权不得商用。

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