温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆制造清洗后旋干设备，涉及晶圆制造用生产设备技术领域，包括旋干机机体，所述旋干机机体的外壁设置有门体，所述门体用于对所述旋干机机体的内腔进行打开和关闭，还包括活动机构和放置机构。本发明通过设置活动机构和放置机构，便于在将存...
该专利属于山东强茂电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东强茂电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。