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本发明公开了一种抛光头组件及的基板抛光方法，抛光头组件包括气囊模组，气囊模组内形成有多个独立的腔室，气囊模组包括多个气囊单元，相邻的两气囊单元相互独立成型或共用一侧壁，这样一来，可分别控制各腔室内的气压，以便分别控制施加给基板不同区域的压力...
该专利属于北京晶亦精微科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晶亦精微科技股份有限公司授权不得商用。

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