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一种流体控制设备(1)包括晶片(20)堆叠体，该堆叠体中设置有作为微机电系统(MEMS)的流动部件(10A‑D)。流动部件(10A‑D)选自流体控制部件(11A‑C)和/或流体监测部件(12)。流体控制设备(1)具有在晶片堆叠体的主平面中被...
该专利属于水源和日光有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过水源和日光有限责任公司授权不得商用。

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