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本申请实施例提供了一种超级结功率器件及其制备方法。超级结功率器件包括：基底；漂移区；形成在漂移区内的第二掺杂类型的上窄下宽的梯形柱区，漂移区位于梯形柱区高度范围内的部分为第一漂移区，各个梯形柱区将第一漂移区分隔出梯形的漂移小区域；漂移小区域...
该专利属于苏州华太电子技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州华太电子技术股份有限公司授权不得商用。

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