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本发明涉及一种传感装置，特别是一种半导体专用设备的弹性传感装置。本发明包括压销，安装板，轴用弹性挡圈，弹簧，传感器支座，传感器。轴用弹性挡圈固定在压销的槽内，弹簧装套在压销上后，将压销放入传感器支座，传感器通过螺钉固定在传感器支座上，压销穿...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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